來源：學(xué)術(shù)之家整理 2025-03-18 15:36:50
《Ieee Transactions On Semiconductor Manufacturing》中文名稱：《半導(dǎo)體制造的IEEE交易》，創(chuàng)刊于1988年，由Institute of Electrical and Electronics Engineers Inc.出版商出版，出版周期Quarterly。
《IEEE 半導(dǎo)體制造學(xué)報》致力于解決制造復(fù)雜微電子元件（尤其是超大規(guī)模集成電路 (VLSI)）的難題。制造這些產(chǎn)品需要精密微圖案化、精確控制材料特性、超潔凈工作環(huán)境以及化學(xué)、物理、電氣和機械過程的復(fù)雜相互作用。
旨在及時、準(zhǔn)確、全面地報道國內(nèi)外PHYSICS, APPLIED工作者在該領(lǐng)域的科學(xué)研究等工作中取得的經(jīng)驗、科研成果、技術(shù)革新、學(xué)術(shù)動態(tài)等。
| 機構(gòu)名稱 | 發(fā)文量 |
| SAMSUNG | 14 |
| GLOBALFOUNDRIES | 11 |
| SAMSUNG ELECTRONICS | 10 |
| KOREA ADVANCED INSTITUT... | 8 |
| UNIVERSITY OF NORTH CAR... | 8 |
| INTEL CORPORATION | 7 |
| NATIONAL TSING HUA UNIV... | 7 |
| SKYWORKS SOLUT INC | 7 |
| ASML HOLDING | 6 |
| IMEC | 6 |
| 國家/地區(qū) | 發(fā)文量 |
| USA | 83 |
| South Korea | 40 |
| CHINA MAINLAND | 38 |
| Japan | 29 |
| Taiwan | 25 |
| GERMANY (FED REP GER) | 15 |
| Belgium | 6 |
| India | 6 |
| Netherlands | 6 |
| Singapore | 6 |
| 文章引用名稱 | 引用次數(shù) |
| Wafer Map Defect Pattern Cla... | 41 |
| Classification of Mixed-Type... | 24 |
| Hybrid Particle Swarm Optimi... | 23 |
| Convolutional Neural Network... | 22 |
| AdaBalGAN: An Improved Gener... | 15 |
| A Voting Ensemble Classifier... | 15 |
| Epitaxial beta-Ga2O3 and bet... | 15 |
| Decision Tree Ensemble-Based... | 13 |
| A Data Driven Cycle Time Pre... | 12 |
| Deep-Structured Machine Lear... | 12 |
| 被引用期刊名稱 | 數(shù)量 |
| IEEE T SEMICONDUCT M | 182 |
| IEEE T AUTOM SCI ENG | 79 |
| IEEE ACCESS | 48 |
| ECS J SOLID STATE SC | 33 |
| COMPUT IND ENG | 24 |
| INT J PROD RES | 20 |
| J MANUF SYST | 17 |
| COMPUT IND | 16 |
| IEEE T ELECTRON DEV | 16 |
| INT J ADV MANUF TECH | 16 |
| 引用期刊名稱 | 數(shù)量 |
| IEEE T SEMICONDUCT M | 182 |
| INT J PROD RES | 33 |
| EXPERT SYST APPL | 30 |
| IEEE T AUTOM SCI ENG | 25 |
| J APPL PHYS | 19 |
| JPN J APPL PHYS | 18 |
| APPL PHYS LETT | 17 |
| J ELECTROCHEM SOC | 16 |
| J MACH LEARN RES | 16 |
| CHEMOMETR INTELL LAB | 15 |
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