來源：學(xué)術(shù)之家整理 2025-03-18 15:36:34
《Materials Science In Semiconductor Processing》中文名稱：《半導(dǎo)體加工中的材料科學(xué)》，創(chuàng)刊于1998年，由Elsevier Ltd出版商出版，出版周期Bimonthly。
《半導(dǎo)體加工中的材料科學(xué)》為討論（光）電子、傳感器、探測器、生物技術(shù)和綠色能源的功能材料和器件的新型加工、應(yīng)用和理論研究提供了一個(gè)獨(dú)特的論壇。
每期都旨在提供當(dāng)前見解、新成就、突破和未來趨勢的快照，涉及微電子、能量轉(zhuǎn)換和存儲(chǔ)、通信、生物技術(shù)、（光）催化、納米和薄膜技術(shù)、混合和復(fù)合材料、化學(xué)加工、氣相沉積、器件制造和建模等不同領(lǐng)域，這些領(lǐng)域是先進(jìn)半導(dǎo)體加工和應(yīng)用的支柱。
內(nèi)容包括：亞微米器件的先進(jìn)光刻技術(shù)；蝕刻及相關(guān)主題；離子注入；損傷演變和相關(guān)問題；等離子體和熱 CVD；快速熱處理；先進(jìn)的金屬化和互連方案；薄介電層、氧化；溶膠-凝膠處理；化學(xué)浴和（電）化學(xué)沉積；復(fù)合半導(dǎo)體加工；新型非氧化物材料及其應(yīng)用； (大)分子和混合材料；分子動(dòng)力學(xué)、從頭算方法、蒙特卡羅等；分立電路和集成電路的新材料和新工藝；磁性材料和自旋電子學(xué)；異質(zhì)結(jié)構(gòu)和量子器件；半導(dǎo)體電學(xué)和光學(xué)特性的工程；晶體生長機(jī)制；可靠性、缺陷密度、固有雜質(zhì)和缺陷。
旨在及時(shí)、準(zhǔn)確、全面地報(bào)道國內(nèi)外ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC工作者在該領(lǐng)域的科學(xué)研究等工作中取得的經(jīng)驗(yàn)、科研成果、技術(shù)革新、學(xué)術(shù)動(dòng)態(tài)等。
| 國家/地區(qū) | 發(fā)文量 |
| CHINA MAINLAND | 376 |
| India | 309 |
| South Korea | 97 |
| Turkey | 76 |
| Mexico | 73 |
| Japan | 71 |
| Iran | 65 |
| USA | 63 |
| Saudi Arabia | 55 |
| Italy | 48 |
| 文章引用名稱 | 引用次數(shù) |
| Recent advances in perovskit... | 42 |
| Enhanced photocatalytic perf... | 36 |
| Photocatalytic, Fenton and p... | 31 |
| Photocatalytic degradation o... | 31 |
| Recent advances in diamond p... | 25 |
| Recent progress in the growt... | 23 |
| Materials and processing iss... | 21 |
| Review of technology for nor... | 21 |
| Improving microstructural pr... | 20 |
| Facilely synthesized Cu:PbS ... | 20 |
| 被引用期刊名稱 | 數(shù)量 |
| J MATER SCI-MATER EL | 470 |
| MATER RES EXPRESS | 446 |
| MAT SCI SEMICON PROC | 380 |
| J ALLOY COMPD | 269 |
| CERAM INT | 226 |
| APPL SURF SCI | 203 |
| J ELECTRON MATER | 130 |
| APPL PHYS A-MATER | 117 |
| OPTIK | 112 |
| RSC ADV | 106 |
| 引用期刊名稱 | 數(shù)量 |
| APPL PHYS LETT | 835 |
| J APPL PHYS | 647 |
| J ALLOY COMPD | 478 |
| APPL SURF SCI | 451 |
| MAT SCI SEMICON PROC | 380 |
| SENSOR ACTUAT B-CHEM | 366 |
| RSC ADV | 326 |
| THIN SOLID FILMS | 318 |
| PHYS REV B | 289 |
| J PHYS CHEM C | 286 |
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