來(lái)源:學(xué)術(shù)之家整理 2025-03-18 15:36:34
《Materials Science In Semiconductor Processing》中文名稱(chēng):《半導(dǎo)體加工中的材料科學(xué)》,創(chuàng)刊于1998年,由Elsevier Ltd出版商出版,出版周期Bimonthly。
《半導(dǎo)體加工中的材料科學(xué)》為討論(光)電子、傳感器、探測(cè)器、生物技術(shù)和綠色能源的功能材料和器件的新型加工、應(yīng)用和理論研究提供了一個(gè)獨(dú)特的論壇。
每期都旨在提供當(dāng)前見(jiàn)解、新成就、突破和未來(lái)趨勢(shì)的快照,涉及微電子、能量轉(zhuǎn)換和存儲(chǔ)、通信、生物技術(shù)、(光)催化、納米和薄膜技術(shù)、混合和復(fù)合材料、化學(xué)加工、氣相沉積、器件制造和建模等不同領(lǐng)域,這些領(lǐng)域是先進(jìn)半導(dǎo)體加工和應(yīng)用的支柱。
內(nèi)容包括:亞微米器件的先進(jìn)光刻技術(shù);蝕刻及相關(guān)主題;離子注入;損傷演變和相關(guān)問(wèn)題;等離子體和熱 CVD;快速熱處理;先進(jìn)的金屬化和互連方案;薄介電層、氧化;溶膠-凝膠處理;化學(xué)浴和(電)化學(xué)沉積;復(fù)合半導(dǎo)體加工;新型非氧化物材料及其應(yīng)用; (大)分子和混合材料;分子動(dòng)力學(xué)、從頭算方法、蒙特卡羅等;分立電路和集成電路的新材料和新工藝;磁性材料和自旋電子學(xué);異質(zhì)結(jié)構(gòu)和量子器件;半導(dǎo)體電學(xué)和光學(xué)特性的工程;晶體生長(zhǎng)機(jī)制;可靠性、缺陷密度、固有雜質(zhì)和缺陷。
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