來源：學術之家整理 2025-03-18 15:36:33
《Journal Of Vacuum Science & Technology B》中文名稱：《真空科學與技術學報B》，創刊于1991年，由A V S AMER INST PHYSICS出版商出版，出版周期Bimonthly。
《真空科學與技術雜志 B》側重于微米和納米結構及設備相關的加工、測量和現象。加工可能包括真空加工、等離子加工和微光刻等，而測量則涉及各種材料和設備表征方法，用于了解亞微米和納米結構及設備的物理和化學性質。
旨在及時、準確、全面地報道國內外ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC工作者在該領域的科學研究等工作中取得的經驗、科研成果、技術革新、學術動態等。
| 文章引用名稱 | 引用次數 |
| Review Article: Synthesis, p... | 21 |
| Review Article: Atomic layer... | 14 |
| Tutorial on interpreting x-r... | 9 |
| Future prospects of fluoride... | 7 |
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| Direct metal etch of rutheni... | 6 |
| Reduced twinning and surface... | 6 |
| Atomic force microscope inte... | 6 |
| 被引用期刊名稱 | 數量 |
| JPN J APPL PHYS | 267 |
| J APPL PHYS | 249 |
| J VAC SCI TECHNOL B | 201 |
| APPL SURF SCI | 152 |
| J VAC SCI TECHNOL A | 141 |
| ACS APPL MATER INTER | 126 |
| NANOTECHNOLOGY | 121 |
| APPL PHYS LETT | 112 |
| ECS J SOLID STATE SC | 105 |
| MATER RES EXPRESS | 94 |
| 引用期刊名稱 | 數量 |
| APPL PHYS LETT | 314 |
| J VAC SCI TECHNOL B | 201 |
| J APPL PHYS | 198 |
| PHYS REV B | 108 |
| J VAC SCI TECHNOL A | 80 |
| NANO LETT | 77 |
| THIN SOLID FILMS | 66 |
| APPL SURF SCI | 62 |
| MICROELECTRON ENG | 62 |
| NANOTECHNOLOGY | 62 |
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